- Kyoto University 팀의 PCSEL은 반도체 레이저의 낮은 밝기 한계를 넘어, 3mm 크기에서 가스·파이버 레이저급 밝기로 강철 절단까지 시연한 광결정 표면방출 레이저임
- 성능의 핵심은 반도체 내부 광결정 층으로, 나노미터 구멍 배열이 빛을 2차원 정상파로 묶고 기본 모드만 증폭해 강하고 좁은 빔을 만듦
- 2023년 PCSEL은 1GW/cm²/sr 밝기, 50W 연속 출력, 3mm 방출 지름, 1/20도 빔 발산으로 100μm 두께 금속판을 절단함
- 자동차 부품 제조 같은 산업용 가공에는 킬로와트급 출력이 필요해, 9개 3mm PCSEL 배열이나 1cm 방출 영역 확장이 다음 과제로 남아 있음
- 고휘도 PCSEL은 제조뿐 아니라 소형 lidar, 온칩 빔 조향, EUV 리소그래피, 핵융합, 광추진 우주비행까지 겨냥하지만 더 높은 출력·효율·열관리가 필요함
Society 5.0이 요구하는 레이저
- 일본 정부가 2016년 내놓은 Society 5.0 구상은 주문형 제조, 로봇 돌봄, 자율 택시·트랙터 같은 기술을 포함함
- 이 환경의 레이저는 일상 기기에 들어갈 만큼 작고 저렴해야 하며, 제조가 단순하고 에너지 효율이 높으며 대량 맞춤화에 맞게 정밀 제어되어야 함
- 반도체 레이저는 크기와 비용 면에서 유리하지만, 밝기가 낮다는 한계가 큼
- 레이저 밝기는 단위 면적·단위 입체각당 광출력으로 정의됨
- 절단·용접·드릴링 같은 재료 가공에는 대략 1GW/cm²/sr 수준이 필요함
- 상용 반도체 레이저의 밝기는 이 수준보다 훨씬 낮음
- lidar에서도 밝기는 비용과 성능을 좌우함
- 장거리 또는 고속에서 정밀 측정하려면 빔이 좁게 집중되어야 함
- 현재 고급 lidar는 100개 이상의 반도체 레이저와 수작업으로 설치된 렌즈 구성을 사용해 비용이 높아짐
기존 레이저와 반도체 레이저의 병목
- CO₂ 레이저와 파이버 레이저는 산업 응용에서 초고휘도 빔을 낼 수 있지만, 반도체 레이저보다 크고 비싸며 에너지 효율이 낮고 제어도 어려움
- 고출력 CO₂ 레이저는 냉장고만 한 크기까지 커질 수 있음
- 기존 반도체 레이저는 보통 활성층의 가느다란 스트라이프를 따라 빛을 증폭하고, 빔은 칩의 앞쪽 모서리에서 나옴
- 출력을 키우려면 방출 영역을 넓혀야 하지만, 넓어진 스트라이프에서는 빛이 지그재그 경로로 진동하는 고차 횡모드가 생김
- 고차 모드는 빔을 얼룩지고 퍼지게 만듦
- 기존 반도체 레이저의 밝기는 대략 100MW/cm²/sr 수준에서 한계에 도달함
광결정으로 빔을 좁히는 방식
- PCSEL은 일반 반도체 레이저처럼 활성층과 클래딩 층을 가지지만, 내부에 나노미터 구멍이 2차원으로 배열된 광결정 층을 추가함
- 광결정은 반도체가 전자 흐름을 제어하듯 빛의 흐름을 제어함
- 구멍, 큐브, 기둥 같은 구조가 빛의 파장 규모로 주기적으로 배치됨
- 굴절률이 주기적으로 변하면서 특정 파장과 방향의 빛이 반사·간섭함
- PCSEL의 기본 광결정은 2차원 정사각 격자임
- 예를 들어 940nm에서 동작하는 갈륨비소 레이저는 내부 파장이 약 280nm임
- 기본 갈륨비소 PCSEL에서는 구멍 간격을 약 280nm로 맞춤
- 구멍 배열은 작은 거울처럼 빛을 뒤쪽과 옆쪽으로 휘게 만들고, 여러 회절이 결합해 2차원 정상파를 형성함
- 활성층은 이 정상파를 증폭함
- 일부 빛은 위아래로 회절되어 칩 표면에서 단일 파장 빔으로 방출됨
- PCSEL은 기존 edge-emitting 레이저와 달리 표면에서 빛을 내며, 방출 영역이 넓고 대체로 둥글어 발산각이 낮은 고품질 빔을 만들 수 있음
밝기를 키운 세대별 설계
- 1998년 Kyoto University 팀은 첫 PCSEL을 만들었고, 이후 고휘도 동작을 위한 설계를 계속 다듬음
- 2014년에는 삼각형 구멍의 정사각 격자를 쓰는 PCSEL을 보고함
- 방출 영역은 200×200μm
- 연속 동작에서 약 1W 출력
- 빔 발산각은 약 2도
- 기존 반도체 레이저의 일반적인 30도 이상 발산보다 훨씬 좁음
- 단일 격자 설계는 약 200μm보다 커지면 고차 횡모드가 나타남
- 기본 모드에서는 빛의 세기가 중심에 집중됨
- 고차 모드에서는 두 개, 세 개, 네 개 이상의 세기 피크가 생김
- 작은 방출 영역에서는 고차 모드의 피크가 가장자리에 있어 빛이 측면으로 새고 진동하지 않음
- 방출 영역이 커지면 고차 모드가 진동할 공간이 생김
- 연구팀은 이를 막기 위해 이중 격자를 도입함
- 원형 구멍의 정사각 격자를 타원형 구멍의 두 번째 정사각 격자에서 1/4 파장만큼 이동시킴
- 회절된 빛 일부가 상쇄 간섭을 일으켜 고차 모드의 세기 피크를 약화·분산시킴
- 이중 격자로 제작한 1mm 지름 PCSEL은 연속 동작에서 10W 빔을 냄
- 발산각은 0.1도
- 기존 반도체 레이저가 가능한 밝기보다 3배 이상 밝음
- 같은 크기의 기존 레이저와 달리 단일 모드로 진동함
3mm PCSEL의 강철 절단
- 더 큰 지름에서는 이중 격자만으로 고차 모드를 충분히 억제하기 어려움
- 연구팀은 고차 모드가 레이저에서 약간 비스듬히 빠져나간다는 점에 맞춰 후면 반사기를 조정함
- 이전 세대에서 후면 반사기는 아래로 회절된 빛을 위쪽 방출면으로 되돌리는 역할만 했음
- 반사기의 위치와 광결정 구멍의 간격·형상을 조정해, 빠져나가는 빛이 광결정 층의 2차원 정상파와 간섭하도록 만듦
- 비스듬히 나가는 파동일수록 더 많은 에너지를 잃어 고차 모드가 선택적으로 차단됨
- 2023년 개발된 PCSEL은 가스·파이버 레이저와 맞먹는 1GW/cm²/sr 밝기에 도달함
- 방출 지름은 3mm
- 연속 출력은 최대 50W
- 빔 발산각은 1/20도
- 이 장치는 100μm 두께 금속판에서 원판을 잘라내며 강철 절단을 시연함
킬로와트급 산업 응용을 향한 과제
- 강철 절단 시연은 인상적이지만, 산업 시장에서 경쟁하려면 더 높은 출력이 필요함
- 자동차 부품 제조에는 대략 킬로와트급 광출력이 필요함
- 킬로와트급 PCSEL은 두 방식으로 접근 가능함
- 3mm PCSEL 9개를 배열함
- 현재 장치의 방출 영역을 1cm로 확장함
- 1cm 크기에서는 고차 모드가 다시 나타나 빔 품질을 낮출 수 있음
- 그럼에도 고출력 가스·파이버 레이저와 비슷한 밝기를 낼 수 있어, 더 큰 기존 레이저 일부를 대체할 수 있음
- 1cm PCSEL이 실제 변화를 만들려면 고차 모드 억제가 필요함
- 연구팀은 광결정 구조와 반사기 위치를 미세 조정하는 방법을 고안함
- 아직 실험실에서 테스트하지 않았지만, 이론 모델은 10~100GW/cm²/sr 밝기 가능성을 보임
효율과 열관리
- 고출력 응용에서는 에너지 효율과 열관리가 성능만큼 중요함
- 최적화 전 PCSEL의 wall-plug 효율은 이미 30~40% 임
- 이는 대부분의 CO₂ 레이저와 파이버 레이저보다 높음
- 연구팀은 효율을 60% 까지 높일 수 있는 경로를 찾음
- 현재 실험실에서 쓰는 수랭 기술은 1,000W, 1cm PCSEL에 충분할 것으로 봄
lidar와 온칩 빔 조향
- 고휘도 PCSEL은 자율주행차와 로봇용 센서 시스템을 더 작고 저렴하게 만드는 데도 쓰일 수 있음
- 최근 제작한 lidar 시스템은 500μm PCSEL을 사용함
- 펄스 동작에서 약 20W로 구동됨
- 30m 거리에서도 스폿 크기가 5cm에 그침
- 외부 렌즈가 없는 소형 lidar 시스템으로는 이례적인 해상도임
- 프로토타입은 웹캠 정도 크기이며, 로봇 카트에 장착해 공학 건물 안에서 사람과 서로를 따라가도록 프로그래밍됨
- 별도 연구에서는 PCSEL이 여러 빔을 내고, 전자적으로 서로 다른 방향을 가리키도록 제어할 수 있음을 보임
- 광결정 층의 구멍 위치와 크기를 바꿔 온칩 빔 조향을 구현함
- 궁극적으로 lidar의 기계식 빔 조향을 대체할 수 있음
- 광검출기까지 같은 칩에 통합하면 완전 전자식 내비게이션 시스템을 매우 작고 저렴하게 만들 수 있음
EUV, 핵융합, 광추진까지의 장기 목표
- 장기적으로는 3cm 레이저에서 10kW 초과 출력과 최대 1,000GW/cm²/sr 밝기를 목표로 함
- 이 수준은 현재 존재하는 어떤 레이저보다 밝은 수준임
- 극고휘도 PCSEL은 EUV 리소그래피 장비에서 플라즈마 펄스를 만드는 대형·고전력 CO₂ 레이저를 대체해 칩 제조 효율을 높일 수 있음
- 핵융합에도 응용 가능성이 있음
- 핵융합은 완두콩 크기의 연료 캡슐에 수조 와트급 레이저 출력을 쏘는 과정을 포함함
- 광추진 우주비행도 잠재적 응용처임
- 빛으로 가속된 탐사선은 먼 별까지 수천 년이 아니라 몇십 년 만에 도달할 수 있음